半導(dǎo)體與鋰電池的“干燥”秘訣，您真的掌握了嗎？

干燥工藝在半導(dǎo)體和鋰電池制造中均至關(guān)重要，但兩者因材料特性差異，干燥機理和控制策略存在***區(qū)別。以下是核心要點：

半導(dǎo)體干燥特點

• 晶圓清洗

  ：采用

  去離子水

  或

  超純水

  進行

  兆聲波清洗

  ，通過高頻振動剝離微粒，避免

  表面損傷

  。 ?

• 光刻膠干燥

  ：使用

  氮氣吹掃

  或

  真空干燥

  ，控制

  溶劑揮發(fā)速率

  ，防止

  光刻膠收縮

  導(dǎo)致

  對準(zhǔn)偏差

  。 ?

 電池干燥關(guān)鍵點

• 極片干燥

  ：分四階段控制（預(yù)熱→恒速→降速→冷卻），通過

  熱風(fēng)沖擊模型

  優(yōu)化

  氣流速度

  ，避免

  毛細應(yīng)力

  導(dǎo)致

  涂層開裂

  。 ?

• 粘結(jié)劑選擇

  ：

  PVDF

  等高彈性粘結(jié)劑可緩解

  顆粒應(yīng)力

  ，而

  水系粘結(jié)劑

  易引發(fā)微裂紋。 ?

共性控制策略

• 溫度梯度管理：均需避免驟冷驟熱，如鋰電池干燥末期需逐步降溫，半導(dǎo)體清洗后需氮氣干燥防氧化。 ?

• 溶劑揮發(fā)速率：兩者均需平衡蒸發(fā)速度與材料穩(wěn)定性，過快易導(dǎo)致結(jié)構(gòu)損傷。

沒有

不了解

不清楚

干燥工藝在半導(dǎo)體和鋰電池制造中均至關(guān)重要，但兩者因材料特性差異，干燥機理和控制策略存在***區(qū)別。以下是核心要點：

半導(dǎo)體干燥特點

• 晶圓清洗：采用去離子水或超純水進行兆聲波清洗，通過高頻振動剝離微粒，避免表面損傷。 ?

• 光刻膠干燥：使用氮氣吹掃或真空干燥，控制溶劑揮發(fā)速率，防止光刻膠收縮導(dǎo)致對準(zhǔn)偏差。 ?

 電池干燥關(guān)鍵點

• 極片干燥：分四階段控制（預(yù)熱→恒速→降速→冷卻），通過熱風(fēng)沖擊模型優(yōu)化氣流速度，避免毛細應(yīng)力導(dǎo)致涂層開裂。 ?

• 粘結(jié)劑選擇：PVDF等高彈性粘結(jié)劑可緩解顆粒應(yīng)力，而水系粘結(jié)劑易引發(fā)微裂紋。 ?

共性控制策略

• 溫度梯度管理：均需避免驟冷驟熱，如鋰電池干燥末期需逐步降溫，半導(dǎo)體清洗后需氮氣干燥防氧化。 ?

• 溶劑揮發(fā)速率：兩者均需平衡蒸發(fā)速度與材料穩(wěn)定性，過快易導(dǎo)致結(jié)構(gòu)損傷。